天水天光半导体有限责任公司MT5数字集成电路测试系统主要性能指标：

    电源板卡性能：

1）最大功率：150瓦特；通道数：10个；支持4相限；支持通道群组以增大其性能；支持比较和现实实际测量数值；

2）电流范围：5A、800mA，20mA，2mA，200μA

3）施加电压范围：-5V～10V；精度：+/-(3mV+0.1%设定值)

    每个通道作为高精度测量单元：

1）电流范围：50mA，2mA，200μA，20μA，2μA

2）电压电流分辨率：+/-满量程情况下超过14位

3）施加电压

①范围：-1.5V～6.5V；

②施加最大电压@电流：2mA，200μA，20μA，2μA：6.1V；

                   50mA ：4.5V；

                   -50mA ：1.1 V；

③施加最小电压@最小电流：-2mA，-200μA，-20μA，-2μA：-1.1V；

                      50mA ：4.5V。

④电压精度：-0.5V～5V：+/-(7.5mV+0.2%设定值) ；

-0.5V～5V范围之外：+/-(12.5mV+0.2%设定值) ；

4）施加电流精度：50mA ：+/-(100μA +0.2%设定值) ；

2mA ：+/-(4μA +0.2%设定值) ；

200μA：+/-(400nA +0.2%设定值) ；

20μA：+/-(40nA +0.2%设定值) ；

2μA：+/-(10nA +0.2%设定值) ；

5)电流电压比较和测量：电压范围、电压精度、电流精度参考施加电压和施加电流。

6） 频率范围：0.1MHz～550MHz；

7）时间精度：+/-150ps。